（报告出品方/分析师：源达信息吴起涤)

一、螺杆式压缩技术领军企业，真空泵业务持续拓展

1.公司介绍：公司专注于螺杆式压缩技术20余年

公司是全球应用工质最多的螺杆式压缩机生产企业之一，已将螺杆式压缩技术用于空气、真空、制冷剂、特殊气体等不同工质中。

公司以螺杆式压缩技术为主线，已拓展罗茨式、离心式和涡轮式等压缩技术，技术和产品丰富度持续提升。

目前公司产品可分为压缩机和真空泵两大类，年营收分别为17和13亿元。此外压缩机可再细分为制冷压缩机和空气压缩机。

制冷压缩机：主要有螺杆式和离心式，离心式可用于小压缩比、节能场景，应用场景包括商用中央空调、冷冻冷藏和空气源热泵等领域；

空气压缩机：主要有螺杆式、离心式和涡旋式，可用于半导体、化工、医药和食品等泛制造业场景；

真空泵：主要有螺杆式和涡旋式，是光伏和半导体制程中的必备设备。

公司成立于年，成立之初即专注于螺杆式压缩机的开发和应用。

年公司在深圳证券交易所主板上市，年公司PS/PD系列干式真空泵通过Semi安全评估，年起公司推出用于半导体一般工艺的PMF干式真空泵，并逐渐扩展至可用于一般严苛/严苛工艺的iPM/iPH系列。年公司上海兴塔厂区已完成厂房建设，并已投入使用。

公司股权结构稳定。

公司实控人为廖哲男先生，其对汉钟投资控股持股23.09%，并通过EXTRAYIELDFINANCELTD.和巴拿马海尔梅斯公司间接对公司持股32.70%。

公司第二大股东为CAPITALHARVESTTECHNOLOGYLIMITED，对公司持股28.64%，与公司实控人无关联关系。

2.财务分析：营收稳步增长，盈利能力提升

受益公司真空泵产品在光伏和半导体领域拓展顺利，公司营收/归母净利润在-年GAGR=21.81%/37.82%。

归母净利润复合增速高于同期营收复合增速系公司真空产品毛利率高于压缩机产品，以年为例，公司压缩机/真空产品毛利率分别为31.4%/42.6%。年业绩增速放缓系宏观经济疲软下，传统压缩机需求下滑；此外工厂停工及产能制约导致部分压缩机和真空泵订单交货延期或取消，影响公司年整体业绩情况。

截至年前三季度，公司实现营收29.06亿元，同比增长24.43%；归母净利润为6.80亿元，同比增长43.46%。业绩增速加快系下游需求复苏下公司新增产能顺利投放，真空产品占比提升及新产品的推出推动公司盈利能力提升。

从营收结构看，真空产品占比持续提升。截至年H1，真空产品和压缩机营收占比分别为42.19%和50.74%。光伏和半导体行业的顺利拓展下，年H1真空产品营收同比增长45.0%。

得益于传统行业需求复苏及冷链物流和预制菜等制冷行业的需求增长，年H1公司传统压缩机营收同比增长21.76%。

从毛利率情况看，真空产品的毛利率高且稳定。截至年H1，真空产品和压缩机的毛利率分别为43.66%和34.84%。压缩机毛利率较去年同期+5.06pct，系公司新产品无油空压机的推出，可用于更高端领域。

年Q3公司毛利率/净利率为40.07%/23.44%，同比+4.2pct/3.65pct。

盈利能力提升系公司产品结构变化，毛利率更高的真空产品占比提升，同时推出无油空压机带动公司传统压缩机产品升级。

公司期间费用率维持稳定。年前三季度公司三费费用率合计13.49%，较去年同期-0.79pct。销售费用率/管理费用率/研发费用率/财务费用率同比变动-0.17pct/-0.71pct/+0.09pct/+0.86pct。

二、搭乘光伏半导体东风，真空市场大有可为

1.半导体：存量市场大，国内加大成熟制程扩产力度

干式真空泵是半导体制程中各工艺段的必备设备，应用于晶圆的上下料、薄膜沉积、刻蚀、离子注入和封装测试等清洁或严苛制程中。

用于半导体制程中的真空泵可分为初级泵和高级真空泵：初级泵（气压范围0-10-3Pa）通常包括罗茨式或螺杆式真空泵，高级泵（气压范围10-3-10-9Pa）通常包括涡轮分子泵或冷凝泵，在对真空度要求高（10-3Pa以上）的严苛制程中常使用干式真空泵+涡轮分子泵的组合。

晶圆厂产能稳步扩建，打开真空泵市场需求。

根据Semi在年Q3的预测，预计年全球8寸晶圆厂的产能约为万片/月，在汽车芯片、工业芯片等行业拉动下，在年增长14%至万片/月的产能。

此外Semi在年Q1预测年全球12英寸晶圆厂产能约为万片/月，并在年增长至万片/月。真空泵作为晶圆厂生产的必备设备，使用寿命一般在5-10年，在维护更换和产能扩建中都将保持稳定需求。

中国大陆大力推动成熟制程扩产，利好真空泵国产化。

受美日荷联动对华半导体设备进口制裁影响，中国大陆先进制程扩产受阻。

根据TrendForce数据，年全球晶圆出货量中成熟制程占比为86%，销售额占76%。成熟制程芯片主要有驱动芯片、CIS/ISP、功率器件等，在显示面板、消费电子、5G、汽车和工业领域应用广泛。

国内大力推动成熟制程产能扩产，提高国产芯片比例。根据TrendForce在年12月的预测，-年中国大陆的成熟制程产能占比将由31%增长至39%。

成熟制程相对于先进制程多数工艺对真空度的要求中等，国产真空泵厂商产品满足要求，利好真空泵的国产化。

成熟制程仍是扩产主流，国产真空泵厂商切入机会大。

联华电子位于台湾，是全球最大的成熟制程晶圆代工厂，截至年合计产能达.8万片/月（8寸），换算成12寸约为万片/月，巨大规模带来可观的真空泵更新和新增需求。对中国大陆成熟制程产线扩建项目梳理，部分项目规划产能合计超40万片/月。

中国大陆厂商作为扩产主力，在美国制裁后推动供应链国产化的意识逐步增强，国产真空泵厂商有望获得更多机会。

预计年全球用于半导体行业的干式真空泵市场空间为亿元。

根据Semi、中科仪招股说明书相关信息，测算逻辑如下：

1)根据Semi在年1月的报告，-年全球半导体硅晶圆产能将由万片增长至万片（按8英寸算）；

2)根据中科仪招股说明书，以12英寸晶圆生产线为例，每3.5万片/月产能需要约台干式真空泵，单台干式真空泵价格按10万元/台计算；

3)根据中科仪招股说明书，假设存量干式真空泵每年更换20%（晶圆制造企业对干式真空泵的折旧年限一般为5年）；

2.光伏：下游需求旺盛，电池技术迭代打开增量需求

干式真空泵可用于光伏产业链的硅片、电池片和组件生产环节。光伏电池组件的制作流程与半导体芯片制程类似，但真空度要求低于半导体行业，国产真空泵渗透率相对较高。

干式真空泵在硅棒的拉晶和电池片的薄膜沉积环节主要是抽取粉尘，而在组件的层压环节主要是抽取液体物质。

硅片扩产节奏加快，拉动真空泵市场需求。

根据CPIA数据，年全球硅片总产能约为GW，其中中国大陆企业硅片产能为.3GW，占全球的97.9%。年硅片企业加快扩产，根据草根光伏统计，全年共有GW的硅片新增产能项目落地。

截至年1月，硅片年化产能达GW。受电池片排产节奏和硅片产能增长过快影响，目前硅片产能利用率有所下降，预计年硅片产能增长速度将相对放缓，影响真空泵新增需求增速。

预计年全球光伏行业硅片拉晶环节的干式真空泵市场空间在悲观/中观/乐观预期下分别为11.2亿元/15.8亿元/20.5亿元。

测算逻辑如下：

1）按照CPIA、BNEF和国家能源局数据，预计/年全球光伏新增装机为/GW，并假设容配比为1.2，可计算出年硅片产能利用率约为45%；

2）假设每GW硅片产能在拉晶环节需要80台真空泵，真空泵单价为6万元/台，折旧期限为10年；

3）假设年乐观预期下硅片产能利用率与年一致，为45%，悲观/中观预期下为52%/48%；

电池技术路线迭代，推动真空泵增量市场增长。

年TOPCon电池新增产能保持高速增长，对PERC产能持续替代。此外HJT、IBC等电池技术路线也保有小规模的扩产量。

新型电池技术对真空泵性能要求更高，且目前电池片环节的真空泵国产化率仍有较大提升空间。预计年扩产主力仍以TOPCon为主，国产真空泵厂商有望迎来提份额机遇。

年光伏电池新增产能预计将以TOPCon为主，HJT、IBC为辅。

根据CNESA，BNEF，GWEC数据，年全球光伏新增装机量约为GW，并预计-年新增装机分别为GW和GW。

我们假设PERC电池年起逐渐停止扩产，而-年中TOPCon电池在新增产能中占比为57%、59%；HJT电池在新增产能占中比为18%、21%；IBC电池在新增产能中占比为15%、20%。可测算得到各电池技术路线-年新增产能。

预计年全球用于光伏电池片环节的干式真空泵市场空间约为24亿元。

测算逻辑如下：1）参考上文中测算得到的-年PERC、TOPCon和HJT新增产能；2）假设干式真空泵在PERC/TOPCon/HJT中的单GW价值量为//万元；3）由于电池片产线更新换代速度较快，仅考虑各电池技术路线设备新增需求；

3.市场格局：以跨国企业为主，市场替代空间大

目前全球真空泵行业的头部企业主要为Atlas（Edwards）、Ebara、PfeifferVacuum和Kashiyama等欧日企业。国内企业有汉钟精机和中科仪等。

由于Kashiyama未公布经营数据，我们梳理了Atlas、Ebara、PfeifferVacuum和国内公司汉钟精机、中科仪在年的真空泵板块营收（Ebara真空泵板块营收采用公司精密电子板块营收代替，存在一定高估）。

其中汉钟精机、中科仪年的真空泵营收为10.43和2.65亿元，相比Atlas和Ebara等国际巨头营收规模仍较小，国产替代空间广阔。

4.公司是国内真空泵领军企业，光伏半导体行业拓展顺利

光伏和半导体行业推动公司真空板块营收高速增长。-年公司真空板块营收由2.31亿元增长至12.76亿元，GAGR=40.75%。截至年上半年公司真空板块营收达7.46亿元，同比增长45.00%，增长较快系下游需求向好及公司客户拓展顺利。

此外年H1公司真空产品毛利率为43.66%，较上年同期+2.09%，毛利率提升系原材料价格保持稳定及生产的规模效应逐渐显现。

在光伏行业，公司产品已在硅片拉晶环节占据较大市场份额，其次是电池片环节。

公司下游客户覆盖隆基股份、晶盛机电、TCL中环、捷佳伟创、高景动力、晶科能源、晶澳太阳能等。

根据公司公告披露：

硅片拉晶环节：公司真空泵产品在拉晶环节占比较多，目前已为隆基绿能、晶盛机电、TCL中环等知名下游客户提供真空泵产品。

电池片环节：年前三季度公司产品在电池片环节成长速度较快，主要以TOPCon制程为主。

在半导体行业，公司已向国内部分机台商、晶圆厂实现小批量出货，下游客户覆盖联电、力积电、华虹、芯恩、和舰等。

目前产品已在清洁、中度严苛、严苛制程中推广使用，具体运用于晶圆上下料、去胶、刻蚀、PVD、CVD等制程。

目前公司已有能满足半导体最先进工艺的中真空干式真空泵产品PMF/iPM/iPH三大系列，并已通过SEMI安全基准验证证书。

三、压缩机业务：以产品迭代节能为导向

公司压缩机可分为制冷压缩机和空气压缩机两大类。

其中制冷压缩机下游应用领域主要有商用中央空调行业、冷冻冷藏行业和高温热泵行业；空气压缩机是制造业日常生产中的泛用设备。

1.商用中央空调

年我国中央空调销售额同比增长2.2%，较年实现增速回正。

从年全年看，受房地产行业不景气和医疗教育、轨道交通等细分领域投资下滑影响，中央空调市场需求仍显现一定颓势。

展望年，在“双碳”政策推动下中央空调产品更

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